一般需要進(jìn)行元素分析的時(shí)候都會為掃描電鏡配置EDS，今天昆山友碩小編給大家介紹蔡司掃描電鏡能譜EDS操作流程，希望對您有所幫助：

　　1. 打開AZtec軟件

　　WD=8.5 mm，3-7kV ,輸出計(jì)數(shù)率>1000

　　2. 建項(xiàng)目，保存原數(shù)據(jù)(最重要的一步)

　　【文件】-【保存項(xiàng)目】或【新項(xiàng)目】。以 【日期+EDS】命名，位置為【D盤】所屬學(xué)院和導(dǎo)師姓名

　　3. 樣品描述

　　保存項(xiàng)目后，自動創(chuàng)建樣品1和區(qū)1，右擊樣品1可重命名。

　　更換樣品時(shí)，選擇【+新樣品】

　　4. 選擇測試類型

　　軟件左上角下拉鍵里選擇點(diǎn)掃(point&ID)，線掃描和面掃

　　蔡司掃描電鏡sigma500

　　5. 掃描圖像

　　確定測試類型后，點(diǎn)擊【開始】

　　在同一樣品的不同區(qū)域或同一樣品相同區(qū)域做不同EDS測試時(shí)，先點(diǎn)【新區(qū)】，然后點(diǎn)【開始】傳圖像

　　注意：(1)傳圖像時(shí)電鏡必須是掃描狀態(tài)，不能為拍照freeze狀態(tài)

　　(2)留意軟件下方 輸出計(jì)數(shù)率>1000時(shí)EDS數(shù)據(jù)才準(zhǔn)確有效

　　(3) EDS測試時(shí)，WD在8.5 mm左右效果較佳

　　6. 點(diǎn)掃

　　選擇【采集圖譜】，鼠標(biāo)直接選擇待測點(diǎn)或待測矩形區(qū)域，選區(qū)后軟件會自動進(jìn)行譜圖測試

　　7. 元素確認(rèn)

　　切換到確認(rèn)元素界面，點(diǎn)擊Auto ID，

　　或手動選擇元素，雙擊元素周期表中想選的元素，變綠則選上

　　如果不想要，再雙擊變紅則去掉

　　8. 計(jì)算成分

　　切換到計(jì)算成分，點(diǎn)擊【編輯列】，勾選【At%】,然后去掉定量結(jié)果表

　　9. 點(diǎn)掃數(shù)據(jù)輸出

　　點(diǎn)擊右上角【輸出報(bào)告】，在對應(yīng)reports文件夾保存word數(shù)據(jù)

　　友碩小編提醒您如果測量結(jié)束后想自己重新繪制譜圖，可以導(dǎo)出譜圖原始數(shù)據(jù)。右擊對應(yīng)點(diǎn)的譜圖空白處，找到【導(dǎo)出】，選擇【EMSA】。SMSA導(dǎo)出的圖譜的text格式文件

　　面掃(面分布圖)

　�、傧葤呙鑸D像，然后選擇采集分布圖數(shù)據(jù)，點(diǎn)擊【開始】

　�、邳c(diǎn)擊開始后，在構(gòu)建分布圖數(shù)據(jù)界面，可以確認(rèn)元素(按第7步操作)，更換單個(gè)元素顏色，查看質(zhì)量/原子百分比

　�、郛�(dāng)面掃綠條過半時(shí)，在采集分布圖數(shù)據(jù)界面單擊停止，系統(tǒng)會掃描完這一編后停止;雙擊停止，系統(tǒng)會立刻停止面掃描。結(jié)合自身測試需求，選擇掃描幾遍。(一般3遍)

　　11. 面掃數(shù)據(jù)輸出

　　(1)點(diǎn)擊右上方的【輸出報(bào)告】，在相應(yīng)的reports文件夾里保存word文檔

　　(2)切換到點(diǎn)掃界面，重復(fù)步驟【8】，然后點(diǎn)擊右上方的【輸出報(bào)告】，此報(bào)告有面掃區(qū)域的各個(gè)元素的平均質(zhì)量百分比和原子百分比

　　(3) 如果想要單個(gè)元素的面掃圖片，可以右擊圖片，找到導(dǎo)出，選擇TIFF格式